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雙面探針臺(tái)DPW-1200

● X-Y?travel?coarse 300?mm?x?300?mm?

● X-Y?travel?fine 10?mm?x?10?mm?（resolution?

● Z??up/down? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 10?mm?

● Theta?travel? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ±?7o?

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● Z?travel? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?25mm?

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雙面探針臺(tái)DPW-1200

Chuck Stage:

● X-Y travel coarse300 mm x 300 mm

● X-Y travel fine10 mm x 10 mm （resolution < 1 μm）

● Z  up/down                        10 mm

● Theta travel                        ± 7o

● Planarity                             < ± 5μm

Probe Platen Drive:

● Z travel                            25mm

● resolution                       < ± 1 μm

Manual Microscope（1000X OR100x option）:

● Travel rangeX-Y-Z              50 mm x 50 mm x 50 mm

● Resolution                          <1um

Utilities:

● Power                                220V, 50Hz

● Vacuum                             -0.8 bar

● Compressed air                  4 bar

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