產(chǎn)品展示

微光顯微鏡EMMI（P-100）

EMMI測試系統(tǒng)又名光發(fā)射顯微鏡，是器件失效分析中漏電定位的重要工具。P-100 EMMI測試系統(tǒng)是儀準科技自有品牌，進入中國已經(jīng)有15年之久。目前國內(nèi)擁有三安光電、中興通訊、智芯微電子、歐司朗、北京772所、MPS、樂山菲尼克斯、深圳明微、國家軟件測評中心等幾十家知名客戶。


微光顯微鏡EMMI（P-100）

產(chǎn)品簡介：

EMMI測試系統(tǒng)又名光發(fā)射顯微鏡，是器件失效分析中漏電定位的重要工具。P-100 EMMI測試系統(tǒng)是儀準科技自有品牌，進入中國已經(jīng)有15年之久。目前國內(nèi)擁有三安光電、中興通訊、智芯微電子、歐司朗、北京772所、MPS、樂山菲尼克斯、深圳明微、國家軟件測評中心等幾十家知名客戶。

具體規(guī)格如下：

Si探測器

采集晶片

硅基芯片

像素

1024  × 1024 pixel

像素尺寸

13 微米  × 13 微米

晶片尺寸

13.3毫米 × 13.3 毫米

噪音

6 electrons rms

冷卻方式

電制冷+水冷

探測器晶片降溫

-70°C

冷卻時間

小于10分鐘（常溫至-70°C）

InGaAs探測器

采集晶片

銦砷化鎵晶片

像素

640  × 512 pixel

像素尺寸

20 微米 x 20 微米

圖像范圍

12.8毫米 x 10.24 毫米

冷卻方式

電制冷+水冷

探測器晶片降溫

-70°C

冷卻時間

小于10分鐘（常溫至-70°C）

探針臺

尺寸

6、8、12寸單雙面探針臺可選

電壓范圍

3000V以下可選

電流范圍

直流10A以內(nèi)；脈沖40A以內(nèi)可選

探針座移動精度

0.7微米

主機臺

移動方式

電控移動

X-Y-Z移動范圍

50*50*70毫米（z軸移動100毫米選配）

X-Y移動精度

1微米

Z移動精度

0.2微米

光學(xué)顯微鏡

品牌

日本三豐

目鏡

10X一對

物鏡

2.5x,5x,20x,50x(100x選配）

其它

屏蔽箱

關(guān)門自動切斷光源，內(nèi)部處于暗場環(huán)境

減震臺

97%@10HZ

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